> Czy masz jakiś pomysł na to aby sprawnie i szybko ocenić zdolność
> rozdzielczą mikroskopu jaki kupię? Aby w czasie tych 7 dni próbnych
> podjąć decyzję czy chcę go zostawić czy nie...
>
> Myślałem np. aby otworzyć jakiś układ scalony, wiele jest robionych
> w technologiiach < 100nm (0.1um) więc wnętrze takiego scalaka
> dałoby dużo szczegółów ... Problem w tym że nie mam za bardzo
> z czym porównać to co zobaczę a do oceny brak mi doświadczenia.

No wiec z tymi scalakami o wysokiej skali integracji to może byc problem, bo
struktury, o któych piszesz są poza zdolnoscia rozdzielczą mikroskopu
optycznego, z uwagi na dyfrakcję światła. Zakres widzialny to 400-700 [800?]
nm, a teoretycznie rozdzielczość nie moze przekroczyć polowy długości fali. W
praktyce jest jescze gorzej, włąśnie spytałem kolegę, co jak ja siedzi w
mikroskopach, tylko on w zakresie optycznym ;-)), jak jest praktyczna
rozdzielczość i on mówi [o ile sie nie machnął zapodajac "z głowy"], że dla
świała białego w dobrym sprzęcie będzie 700 nm [0.7 um]. Zdziwiłem sie,że tak
słabo, myślałem,że choć z 0.5 um będzie ;-)
Oczywiście w świetle niebieskim można osiagnąć lepsze rezultaty, pewną
poprawę daje zastosowanie tzw. immersji. Wreszcie znany jest fakt, że liniowe
struktury mają lepsza dostrzegalność niż oficjalna rozdzielczość, bo ta
określana jest dla obiektów punktowych.
Co do wymienionych scalaków, to nieprzypadkowo przy produkcji tych układów,
jeśli stosuje się fotolitografię, to w zakresie UV i to dość dalekim chyba -co
z resztą stwarza spore problemy technologiczne, bo ten daleki zakres b. cieżko
się wytwarza, a i trzeba sie nim bawić w próżni,że względu na silną absorbcję
w powietrzu [tzw. VUV -Vacuum Ultraviolet]. No i raczej ogniskować przy pomocy
luster, bo jest problem z materiałem na soczewki [windowless UV -bezokienny
UV]. Granicę przezroczystosci stanowi kryształ LiF, puszcza chyba do 11.8 eV,
co po przeliczeniu daje jakieś 105 nm długości fali, jeśli się nie machnąłem w
obliczeniach na szybko i w danych wejściowych.
Pozdrawiam
-J.

--
Wysłano z serwisu OnetNiusy: http://niusy.onet.pl

do góry

J. pisze:

> No wiec z tymi scalakami o wysokiej skali integracji to może byc problem, bo
> struktury, o któych piszesz są poza zdolnoscia rozdzielczą mikroskopu
> optycznego, z uwagi na dyfrakcję światła. Zakres widzialny to 400-700 [800?]
> nm, a teoretycznie rozdzielczość nie moze przekroczyć polowy długości fali. W
> praktyce jest jescze gorzej, włąśnie spytałem kolegę, co jak ja siedzi w
> mikroskopach, tylko on w zakresie optycznym ;-)), jak jest praktyczna
> rozdzielczość i on mówi [o ile sie nie machnął zapodajac "z głowy"], że dla
> świała białego w dobrym sprzęcie będzie 700 nm [0.7 um]. Zdziwiłem sie,że tak
> słabo, myślałem,że choć z 0.5 um będzie ;-)

no widzisz, ja chciałem to wsadzić do AFM'u :) a że ma go sprzężonego z
optycznym to inna bajka :)
ale z drugiej strony jak na mice posadzić nano cząstki srebra to widać
je jako punkty jak mają około 200 nm a identyczne lateksy są nie
dostrzegalne (mówię o świetle odbitym) Tak więc możliwości zależą
również od próbki :)

pozdrawiam
Qbab

do góry