-
1. Data: 2016-01-13 21:54:13
Temat: Wafle krzemowe
Od: u...@g...com
14, 10, 7nm. Jak oni to robia? Jakies dodatkowe zabiegi sa wykonywane po polerowaniu
aby uzyskac idealnie plaskie powierzchnie?
-
2. Data: 2016-01-14 08:24:41
Temat: Re: Wafle krzemowe
Od: Dariusz Dorochowicz <dadoro@_wp_._com_>
W dniu 2016-01-13 o 21:54, u...@g...com pisze:
> 14, 10, 7nm. Jak oni to robia? Jakies dodatkowe zabiegi sa wykonywane po
polerowaniu aby uzyskac idealnie plaskie powierzchnie?
Polerowanie to już od bardzo dawna nie wystarcza - warstwa epitaksjalna
plus wygrzewanie, ale to było dawno temu. Co teraz - w sumie pewnie to
samo, tylko bardziej kontrolowane warunki. Może jeszcze podtrawiają trochę.
Pozdrawiam
DD